“虽然之前十年,我们一直在和Cymer合作,包括目前我们最新的TWINSCAN 1980Di,采用的光源也是Cymer的……国产仅用在非浸润式型号上。但自从EUV亚联成立后……我们的关系还是有点难处的。”
“特别是EUV光源,目前精光那边尚拿不出什么好方案来,而Cymer好歹提出了LPP方案,而且ASML的验证机型也证实了可行。当然,根据荷兰的消息,LPP方案还是存在功率不足的问题……但好歹起了个头对吧?而反观我们这边……国内差一点,霓国人又心怀鬼胎……而老美……你又一直把警惕挂在嘴边……”
郑振川一直说,一直苦笑,最终长叹了一口气:“难呐!”
听到郑振川的感慨,李明柳也颇有些感同身受以跟着一叹。
反倒是苏远山,脸上露出了一抹怪异。
——这二位,似乎都已经忘记了国产光刻机在十五年前是什么鬼样子了……如今二十年不到,宏芯就凭借着双工件台的领先和浸润式光刻,一举成为了全球市场份额最大的光刻机制造商……
这要是放在后世,写成小说都没人信的。
郑振川居然还不满足……这只能说,人呐,是天然的好了伤疤忘了疼。
不过……老郑说的也确实是事实。
EUV亚联虽然成立,且在过去五年中,由远芯主导着拉了十几家单位进来,总共投入了超过五亿美金,这才拿出了眼前这张设计图来。但由于东亚半导体圈肉眼可见的成型,或者说成型之势不可阻挡,以至于……大家都有了各自的小心思。
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