总的来说,第四代光刻机技术指标,是第三代EUV的二十倍左右。
这就好比马车和火车的迭代,差距是全方位的,更短的波长只是一种表象,最惊人的创举在于,星辰科技突破了曝光功率的物理限制。
普通百姓们或许并不清楚,从第一代到第三代光刻机,其实都是大力出奇迹的结果。
就拿第三代EUV来说,极紫外光是超大功率的电老虎,250W的机台每工作一天,就要耗费高达三万度的电力,而且还需要一套体积惊人的散热系统辅助。
技术不够,功率来凑,一直是光刻机发展的逻辑,在星辰科技之前,没有任何企业真正解决过这个问题,工程师们的思路通常简单粗暴,他们想要更精确地曝光效果,就不断的提高功率,制造更大的光源发生器,打磨更精良的透镜。
星辰科技之所以能够彻底解决问题,是因为他们没有延续大功率光源过爆的传统,而是直接采用了激光。
从本质上来来说,星辰科技的第四代光刻系统,就是一套激光散射平台,这玩意儿不仅能刻蚀硅晶圆,工艺改良之后,甚至还能发展出激光武器。
当然,从激光刻蚀平台到激光武器之间,还有很长的科技树要攀爬,并不能够一蹴而就。
“是激光散射!华夏人用了激光技术!”
“零点五纳米的激光刻蚀?那岂不是意味着,星辰科技有能力把芯片的指标,推进到零点一纳米,甚至更低?”
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