“错的是数据,而不是我们的计算!!”贾老板舔了舔自己的嘴唇,脑海里面一个想法变得越来越清晰,最后直接问道“老师,我们用来计算的基础数据,是从哪里来的?”
“当然是我们自己测量出的!”倪光南下意识的回答道。
“不对吧,有些数据根本不是测量出来的,我记得我负责验算的数据里面,就有一部分,好像并不是测算的结果!”贾老板眯着眼睛说道。
“好吧,这是我们直接从ASML的机器上面直接扒下来的数据!”倪光南有些不好意思的说道“我为了节省时间,直接从ASML的70nm的机器上面扒了数据下来!”
“不过我保证,这一部分数据对于干式和浸润式来说都是通用的,没有任何影响。而且这些数据,根本就不是能够通过测量量出来的,而是需要无数次实验来积累的!”
“就比如刻印的偏光角的问题,这个根本无法测量,只能够从44.0000001度到45.9999999度为止,每0.00000001度进行实验测算,才能够找出最佳的偏光角出来。”
“如果完全依靠实验来寻找的话,那得进行2,000万次的测算实验,光测算一个偏光角度的时间就在三年以上,我们哪来这么多时间!”
“而偏光角对于干式和浸润式这两种方式来说,都是一样的,没有任何的影响。所以我就直接把ASML的偏光角数据拿来用了!反正都是70nm级别的,数据都是一样的,我们没有必要再花大量的时间来实验,因为最后实验出来的结果还是和ASML的一样,这就太浪费了!”
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